（**本通知只针对校内用户**）
各位老师、同学：
微纳系统国际创新中心（iicmns）设备已陆续上线学校大仪共享平台，校内用户请通过大仪平台进行预约使用。已上线设备将逐步不再面向校内用户提供线下预约通道，请各位老师同学注意。
学校大仪平台预约通道请参见中心网站指南：https://iicmns.seu.edu.cn/56774/list.htm，或者直接登录大仪平台网站：https://dxyq.seu.edu.cn/。
已上线设备清单更新如下：
仪器名称 | 仪器型号 | 仪器固定资产编号 | 存放地点 | 管理责任人 | |
1 | 无掩膜直写光刻机 | 海德堡 MLA-150 | 2023013085 | 微纳大楼 | 李海波 |
2 | 共聚焦微区拉曼仪 | HORIBA LabRAM Odyssey | 2024007218 | 微纳大楼 | 王杰 |
3 | 干法去胶机 | 邑文 SINO-Plasma 100 | 2023011867 | 微纳大楼 | 金晓盛 |
4 | 原子层沉积系统 | 邑文 SINO-ALD R200 | 2023011865 | 微纳大楼 | 赖信 |
5 | 全自动硅晶圆激光切割机 | 中科镭特 LTUF200 | 2024012935 | 微纳大楼 | 陈峰 |
6 | 绝对量子效率测试仪 | 滨松 C9920-02G | 2024012938 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
7 | 3D双光路激光扫描系统 | 基恩士 VK-X3000 | 2024012937 | 微纳大楼 | 李海波 |
8 | 超声喷涂设备 | 海致三维 HZ-AC 300 | 2023010783 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
9 | 纳米压印系统 | 天仁微纳 UniPrinter | 2023010782 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
10 | 显示屏光学自动测量仪 | SINO AGGTECH FE-SDT | 2023010781 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
11 | 工业型喷墨打印机 | MicroFab Inkjet UAI-MICJET-200 | 2023006582 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
12 | 多功能光电测量系统 | WinRobs WR-TEG-10 | 2023006581 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
13 | 台阶仪 | Bruker Dektak XT | 2024001423 | 微纳大楼 | 金晓盛 |
14 | 气溶胶打印机 | XTPL DELTA | 2025001965 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
15 | 裂片机 | Accretech AD20T | 2025001964 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
16 | 磁控溅射PVD系统 | Kurt J.Lesker ProLine PVD 200 | 2025001962 | 微纳大楼 | 陈峰 |
17 | 电流体喷印设备 | 广东思谷 EHDJet-P | 2025001963 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
18 | 倒装贴片机 | Finetech Sigma | 2024022222 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
19 | 匀胶机 | SAWATEC SM-300 | 2024022220 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
20 | 低温真空探针测试台 | Lake Shore CRX-6.5K | 2024022206 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
21 | 键合机 | SUSS XB8 | 2024021756 | 微纳大楼 | 李海波 |
22 | 光刻机 | SUSS MA/BA8 Gen4 | 2024021755 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
23 | 3D打印机 | 摩方新材 S130 | 2024001176 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
24 | 喷墨打印机（普通） | FUJIFILM DMP2850 | 2025003519 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
25 | 激光共聚焦显微镜 | Carl Zeiss LSM900 | 2025003521 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
26 | 椭偏仪 | HORIBA UVISEL Plus | 2025003522 | 微纳大楼 | 李海波 |
27 | 扫描探针显微镜 | Bruker Dimension ICON | 2025003531 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
28 | 俄歇光电子能谱仪 | ULVAC-PHI PHI 710 | 2025003520 | 微纳大楼 | 王杰 |
29 | X射线荧光分析仪 | HORIBA XGT-9000 | 2025003530 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
30 | 半自动HF清洗机 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1204 | 2024021760 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
31 | 超高频锁相放大器 | UHPLI | 2024022221 | 微纳大楼 | 张东煜 |
32 | 微纳力学测试及操作系统 | FemtoTools FT-MTA03 | 2025003533 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
34 | 半导体分析仪 | Tektronix 4200A-SCS | 2025003518 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
35 | 半自动显影清洗机 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1205 | 2024021761 2024021762 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
36 | 半自动Lift-off剥离机 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1203 | 2024021759 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
37 | 半自动SPM清洗机 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1202 | 2024021758 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
38 | 半自动RCA清洗机 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1201 | 2024021757 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
39 | 有机清洗台 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1207 | 2024021768 2024021769 2024021770 2024021771 2024021772 | 微纳大楼 | 黄智盈 华秀竹 |
40 | 酸碱清洗台 | 江苏芯梦 JSXM-MW-2111N1206 | 2024021763 2024021764 2024021765 2024021766 2024021767 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
此外，尚未完成上线流程但已可以正常提供线下预约登记服务的设备清单更新如下：
序号 | 仪器名称 | 仪器型号 | 仪器固定资产编号 | 存放地点 | 管理责任人 |
1 | 透射电子显微镜 | Thermo Scientific Talos F200X G2 | L0255476 | 微纳大楼 | 熊雨薇/李海 |
2 | 扫描电子显微镜 | Carl Zeiss GeminiSEM 360 | L0255411 | 微纳大楼 | 李海波 |
3 | 金相显微镜 | Leica DM12000M | L0244544 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
4 | X射线高分辨衍射仪 | Bruker D8 Discover | L0255467 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
5 | X射线光电子能谱仪 | Thermo Scientific ESCALABQX | L0255376 | 微纳大楼 | 王杰 |
6 | 二次离子质谱仪 | ULVAC-PHI PHI NanoToF 3 | L0255413 | 微纳大楼 | 王杰 |
7 | 磁控溅射 | ULVAC CS200 | L0255472 | 微纳大楼 | 陈峰 |
8 | 离子束刻蚀机 | OXFORD INSTRUMENTS IONFAB | L0255330 | 微纳大楼 | 金晓盛 |
9 | 氧化扩散炉 | 金立盾 5110 | L0255412 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
10 | 紫外可见红外分光光度计 | 安捷伦 Cary 5000 | 2023006190 | 微纳大楼 | 王杰 |
11 | 12寸晶圆键合机 | EVG GeminiFB | L0255434 | 微纳大楼 | 夏睿孚 |
12 | 混合键合机 | ASM LithoBolt | L0255435 | 微纳大楼 | 夏睿孚 |
13 | 反应离子束刻蚀ICP-RIE | Oxford PlasmaPro 100 Cobra | L0255331 | 微纳大楼 | 金晓盛 |
14 | 热-紫外纳米阵列压印机 | Obducat Eitre8 | L0255436 | 微纳大楼 | 俞挺 |
15 | 荧光显微镜 | EVIDENT IX83 | L0255371 | 微纳大楼 | 黄智盈 |
16 | 聚焦Ar离子减薄仪 | EA Fischione 1051 | L0255392 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
17 | 微束定点离子精修系统 | EA Fischione 1040 | L0255393 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
18 | 快速热处理系统RTP | Allwin21 AccuThermo AW-810M | L0255428 | 微纳大楼 | 朱思锡 |
19 | 电子束蒸发 | ULVAC ei-501z | L0255473 | 微纳大楼 | 陈峰 |
20 | 低气压气相沉积LPCVD | TYSTAR Mini-TYTAN 3800 | L0255466 | 微纳大楼 | 赖信 |
21 | NLD干法刻蚀设备 | ULVAC NLD-570 | L0255475 | 微纳大楼 | 夏睿孚 |
22 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | SENTECH SI 500D | L0255469 | 微纳大楼 | 陈峰 |
23 | 聚焦离子束扫描电子显微镜 | Thermo Fisher Helios 5 Hydra | L0255470 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
24 | TSV-ALE集成刻蚀系统 | 无锡邑文 Sino-Plasma 200TSV | L0255474 | 微纳大楼 | 赖信 |
25 | 双束制备电镜系统 | Thermo Fisher Scios 2 | L0255478 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
26 | 离子注入机 | ULVAC IH-860PSIC-Ⅱ | L0255479 | 微纳大楼 | |
27 | 步进式光刻机 | Nikon S204B | L0255480 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
28 | 超高真空低温扫描隧道显微镜 | Scienta Omicron GmbH LT STM XP | L0244991 | 微纳大楼 | 徐秋月 |
29 | 高精度光学薄膜力学测试系统 | 深圳速普 FST5000 | L0255421 | 微纳大楼 | 李海波 |
30 | 喷胶机 | MEMSTools SC-200-V | L0255471 | 微纳大楼 | 华秀竹 |
欢迎全校师生登录中心网站（iicmns.seu.edu.cn），在【设备预约】窗口选择对应预约方式进行预约使用，共同用好公共资源。预约过程如有疑问，可致电设备管理人进行咨询。
微纳系统国际创新中心
2025年4月28日
