HMDS预处理 |
12英寸半自动匀胶烘烤一体机 | 光刻前处理 设备名称：HMDS预处理、柜式匀胶机、12英寸半自动匀胶机，柜式热板机、SUSS手动匀胶机、SUSS高精密热板、半自动显影清洗机 功能：对晶圆进行光刻前处理及曝光准备。 |
SUSS热板机 |
SUSS手动匀胶机 |
| 设备名称：无掩膜激光直写光刻机 设备品牌：海德堡 设备型号：MLA-150 功能：掩模板制作、光刻胶直写、线宽距离测量、套刻直写。 主要技术参数：半导体激光器波段：375nm、405nm；激光能量：300mW；He-Ne激光干涉仪分辨率：≤10nm；高精密激光图形发生器最小线宽：≤0.6μm。 |
| 设备名称：8英寸接触式光刻机 设备品牌：SUSS 设备型号：MA/BA8 功能：微纳结构与器件图形光刻。 主要技术参数：8英寸及以下标准片；曝光光源：UV LED 350~450nm；分辨率：优于1.0μm；最大曝光面积：200mm×200mm；支持45度，50度入射角曝光，角度曝光面积：超过100mm×100mm。 |
| 设备名称：扫描式光刻机 设备品牌：Nikon 设备型号：S204B 功能：微纳结构与器件图形光刻。 主要技术参数：8英寸及6英寸标准片；设备解析度： 200nm；焦点深度：≥400nm；放大倍率控制精度：≤15nm ；最大曝光范围：25mm×33mm以上；曝光能量： 350mW/cm2。 |
