设备名称：离子注入机

设备品牌：ULVAC

设备型号：IH-860PSIC-Ⅱ

功能：用于B、P、As等元素的掺杂改性。

主要技术参数：8英寸及以下标准片；高温离子注入配有高温静电chuck，500度；能量：10KeV~1200KeV；配有dual platen，高温/常温瞬时切换；兼容：SiC、GaN、GaAs、Si。