设备名称：半自动Lift-Off机、有机清洗台

设备品牌：江苏芯梦

功能：实现晶圆的金属剥离及去胶工艺。

主要技术参数：8英寸及以下标准片；超声、抖动、循环过滤、加热、鼓泡、喷淋、溢流、快排等软件功能。

设备名称：SPM清洗机、HF清洗台、酸碱清洗台、RCA 清洗机

设备品牌：江苏芯梦

功能：实现标准RCA清洗工艺，依次去除晶圆表面有机污染、颗粒污染、金属污染及表面自然氧化层等。

主要技术参数：8英寸及以下标准片；循环、过滤、兆声、加热、鼓泡、喷淋、溢流、快排等软件功能。