设备名称：SPM清洗机、HF清洗台、酸碱清洗台、RCA清洗机

设备品牌：江苏芯梦

功能：实现标准RCA清洗工艺，依次去除晶圆表面有机污染、颗粒污染、金属污染及表面自然氧化层等。

主要技术参数：8英寸及以下标准片；循环、过滤、兆声、加热、鼓泡、喷淋、溢流、快排等软件功能。

设备名称：甩干机

设备型号：FX880

功能：用于6、8英寸的硅片清洗后甩干。

主要技术参数：上腔6英寸，下腔8英寸半高；工作转速：300~2400r/min，转速偏差：±2%；氮气加热范围：室温~80℃±5℃；贴片式加热+N₂加热；工艺温度可控，温度控制精度±3℃；标准碎片率：＜0.01%。