俞挺       高级工程师，工艺管理服务部部长

创新中心工艺、设备，人员运营管理；负责对外客户发展、维护；负责新工艺产品研发、导入等工作。

张东煜    高级工程师，科研实训管理部部长

负责科研实训管理部整体工作；承担来访参观的对接、接待、宣传工作；负责科技项目、科技规划的组织申报等相关工作；协同负责柔性工艺区设备的维护和运营服务。

陈峰       高级工程师，厂务运维保障部部长

负责微纳中心厂务运维保障部的工作有序开展，各项厂务系统的运行管理，中心的安全管理，确保各项设施安全稳定运行。

杨志龙    厂务工程师

主要负责配电设施，暖通设施,BMS系统及灯控系统，消防设施等设备的运维工作。

陈家庚    厂务工程师

主要负责工艺排气、气化、纯水、废水等的操作与维护工作。

刘春喜乐 厂务工程师

主要负责纯水系统、废水处理系统、PCW系统、供排水系统的运行维护等工作。

工艺管理服务部

夏睿孚    刻蚀设备工程师

主要负责干法刻蚀相关设备维护、调试、条件优化，以及所有新进设备厂务条件需求沟通，衔接设备管理与厂务部门工作。

陈峰       薄膜设备工程师

主要负责薄膜设备PVD，PEVCD，磁控溅射，蒸发台EI-5，等设备的维护安装调试等工作。

李海波    薄膜工艺工程师

主要负责薄膜沉积工艺，包括 PECVD、PVD、e_beam、MA8、激光直写、stepper 等设备的调试、工艺开发、条件优化、设备维护等工作。

金晓盛    刻蚀工艺工程师

主要负责干法刻蚀工艺，包括ICP-RIE、IBE、DRIE深硅刻蚀系统、NLD干法刻蚀等离子体干法去胶机等设备的工艺开发、优化与维护等工作。

黄智盈    工艺工程师

主要负责微纳平台二楼，划片机，贴片机，3D打印机，DMP喷墨打印机XRD,XRF，AFM等量测设备维护，测试以及工艺条件优化等工作。

朱思锡    工艺工程师

主要负责无机清洗、扩散工艺，包括氧化扩散炉、RTP、离子注入机、清洗机等设备的工艺开发、优化与维护等工作。

华秀竹    光刻工艺工程师

主要负责光刻工艺，包括喷胶机、匀胶机、接触接近式SUSS光刻机、Stepper光刻机、有机清洗等设备的调试、维护以及工艺开发等工作。

王杰       量测工艺工程师

主要负责AES、Raman、XPS、SIMS等量测设备调试、维护、测试以及工艺条件优化等工作。

赖信       薄膜工艺工程师

主要负责薄膜沉积工艺，包括LPCVD、ALD、溅射、蒸发、PECVD等设备的工艺开发、优化与维护等工作。

徐秋月    工艺工程师

主要负责FIB、Ar离子减薄仪器、微束定点离子精修系统等设备维护、测试以及工艺条件优化等工作。

牛永安    工艺工程师

主要负责柔性电子材料设备，包括热紫外纳米压印、喷墨打印机、气溶胶打印机、电流体打印机等设备的使用和维护。

齐强先    工艺工程师

主要负责项目对接，工艺方面负责电化学沉积、倒装焊、CMP等设备的工艺开发、优化及维护保养。

郝绪志    工艺工程师

主要负责CMP，AOI工艺的开发、调试及优化及设备的维护等工作。

朱元昊    工艺工程师

主要负责SiC高温氧化，激活退火，无机清洗等工艺，包括高温氧化/退火，激光退火等设备的调试、维护以及工艺开发等工作。

汤婧婧   光刻工艺工程师

主要负责光刻工艺，包括电子束光刻，激光直写，12寸临时键合，喷胶机，匀胶机，接触接近式SUSS光刻机等设备的调试，维护以及工艺开发等工作。

胡子晨   光刻工艺工程师

主要负责W2W，D2W等键合设备和等离子切割 12寸pecvd等芯粒集成工艺的开发、优化与维护工作。

李玉倩    原材料管理员

主要负责化学品及原材料平台、设备预约平台、微纳大楼门禁系统管理，实验室及设备操作培训管理等工作。

戴宇婕    行政管理

主要负责微纳平台日常运营中各类财务报销，固定资产的台账登记与动态管理，合同签署、设备验收报告流程跟进，以及其他行政协调与支持工作。

杨琳       行政管理

负责项目经费统计跟进，供应商管理，江阴分中心接待与潜在客户统计，及其他行政支持工作。